Result Number | Material Type | Add to My Shelf Action | Record Details and Options |
---|---|---|---|
1 |
Material Type: Artigo de Congresso
|
Control of the refractive index in PECVD SiOxNy filmsMarco Isaías Alayo Chávez 1971- Inés Pereyra 1947-; Wanderla Luis Scopel; Márcia Carvalho de Abreu Fantini; International Conference on Microelectronics and Packaging (15. 2000 Manaus)SBMicro 2000 : proceedings Manaus : SBMicro/UA/UFRGS/UNICAMP/USP, 2000Manaus SBMicro/UA/UFRGS/UNICAMP/USP 2000Item não circula. Consulte sua biblioteca.(Acessar) |
|
2 |
Material Type: Artigo de Congresso
|
Optical waveguides of PECVD silicon oxynitride filmsMarco Isaías Alayo Chávez 1971- Inés Pereyra 1947-; Wanderla Luis Scopel; Márcia Carvalho de Abreu Fantini; Encontro da Sociedade Brasileira de Pesquisa em Materiais (1. 2002 Rio de Janeiro)Programa e Livro de Resumos Rio de Janeiro : SBPMat, 2002Rio de Janeiro SBPMat 2002Item não circula. Consulte sua biblioteca.(Acessar) |
|
3 |
Material Type: Artigo
|
On the nitrogen and oxygen incorporation in plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) SiOxNy filmsMarco Isaías Alayo Chávez 1971- Inés Pereyra 1947-; Wanderla Luis Scopel; Márcia Carvalho de Abreu FantiniThin Solid Films Lausanne v. 402, n. 1-2, p. 154-161, 2002Lausanne 2002Acesso online |
|
4 |
Material Type: Artigo
|
On the nitrogen and oxygen incorporation in plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) SiOxNy filmsMarco Isaías Alayo Chávez 1971- Inés Pereyra 1947-; Wanderla Luis Scopel; Márcia Carvalho de Abreu FantiniThin Solid Films Lausanne v. 402, n. 1-2, p. 154-161, 2002Lausanne 2002Acesso online |
|
5 |
Material Type: Artigo de Congresso
|
Comparison of the structural properties of the PECVD SIOXNY dielectric layer with the interface electrical properties in SI/SIOXNY/AL capacitorsKatia Franklin Albertin Márcia Carvalho de Abreu Fantini; Inés Pereyra 1947-; Encontro da SBPMat (3. 2004 Foz do Iguaçu)Program São Carlos: SBPMat, 2004São Carlos SBPMat 2004Acesso online |
|
6 |
Material Type: Artigo de Congresso
|
Study of the structural properties of the PECVD SiOxNy dielectric layers obtained with different RF powers by XANES and EXAFS analysisKatia Franklin Albertin Márcia Carvalho de Abreu Fantini; Inés Pereyra 1947-; Brazilian MRS Meeting (5. 2006 Florianópolis, SC)AbstractsFlorianópolis SBPMat - Sociedade Brasileira de Pesquisa em Materiais 2006Item não circula. Consulte sua biblioteca.(Acessar) |
|
7 |
Material Type: Artigo de Congresso
|
The structural properties of the protective layer of microlamps under polarizationVinicius Roberto de Sylos Cassimiro Márcia Carvalho de Abreu Fantini; Inés Pereyra 1947-; Marcelo Nelson Páez Carreño 1962-; Marco Isaías Alayo Chávez 1971-; Gustavo Pamplona Rehder 1979-; Rubens Martins Cunha Junior; Nicolas Trcera; Brazilian Workshop on Semiconductor Physics Ago 14-18, 2017 Maresias, São Paulo, SP 18thProceedings Science BWSP São Paulo, 2017 v. 1, 4 p.São Paulo 2017Acesso online |
|
8 |
Material Type: Artigo de Congresso
|
EXAFS analysis on SiOxNy filmsDenise Criado Márcia Carvalho de Abreu Fantini; Inés Pereyra 1947-; Brazilian MRS Meeting (5. 2006 Florianópolis, SC)AbstractsFlorianópolis SBPMat - Sociedade Brasileira de Pesquisa em Materiais 2006Item não circula. Consulte sua biblioteca.(Acessar) |
|
9 |
Material Type: Artigo de Congresso
|
Study of silicon oxynitride films with low mechanical stressDenise Criado Marco Isaías Alayo Chávez 1971-; Inés Pereyra 1947-; Márcia Carvalho de Abreu Fantini; Encontro da SBPMat (3. 2004 Foz do Iguaçu)Program São Carlos: SBPMat, 2004São Carlos SBPMat 2004Acesso online |
|
10 |
Material Type: Artigo de Congresso
|
Xanes characterization in PECVD-SiOxNy filmsDenise Criado Marco Isaías Alayo Chávez 1971-; Inés Pereyra 1947-; Márcia Carvalho de Abreu Fantini; Encontro da SBPMat (3. 2004 Foz do Iguaçu)Program São Carlos: SBPMat, 2004São Carlos SBPMat 2004Acesso online |