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Artigo de Congresso
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Control of the refractive index in PECVD SiOxNy films

Marco Isaías Alayo Chávez 1971- Inés Pereyra 1947-; Wanderla Luis Scopel; Márcia Carvalho de Abreu Fantini; International Conference on Microelectronics and Packaging (15. 2000 Manaus)

SBMicro 2000 : proceedings Manaus : SBMicro/UA/UFRGS/UNICAMP/USP, 2000

Manaus SBMicro/UA/UFRGS/UNICAMP/USP 2000

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Artigo de Congresso
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Optical waveguides of PECVD silicon oxynitride films

Marco Isaías Alayo Chávez 1971- Inés Pereyra 1947-; Wanderla Luis Scopel; Márcia Carvalho de Abreu Fantini; Encontro da Sociedade Brasileira de Pesquisa em Materiais (1. 2002 Rio de Janeiro)

Programa e Livro de Resumos Rio de Janeiro : SBPMat, 2002

Rio de Janeiro SBPMat 2002

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Artigo
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On the nitrogen and oxygen incorporation in plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) SiOxNy films

Marco Isaías Alayo Chávez 1971- Inés Pereyra 1947-; Wanderla Luis Scopel; Márcia Carvalho de Abreu Fantini

Thin Solid Films Lausanne v. 402, n. 1-2, p. 154-161, 2002

Lausanne 2002

Acesso online

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Artigo
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On the nitrogen and oxygen incorporation in plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) SiOxNy films

Marco Isaías Alayo Chávez 1971- Inés Pereyra 1947-; Wanderla Luis Scopel; Márcia Carvalho de Abreu Fantini

Thin Solid Films Lausanne v. 402, n. 1-2, p. 154-161, 2002

Lausanne 2002

Acesso online

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The structural properties of the protective layer of microlamps under polarization

Vinicius Roberto de Sylos Cassimiro Márcia Carvalho de Abreu Fantini; Inés Pereyra 1947-; Marcelo Nelson Páez Carreño 1962-; Marco Isaías Alayo Chávez 1971-; Gustavo Pamplona Rehder 1979-; Rubens Martins Cunha Junior; Nicolas Trcera; Brazilian Workshop on Semiconductor Physics Ago 14-18, 2017 Maresias, São Paulo, SP 18th

Proceedings Science BWSP São Paulo, 2017 v. 1, 4 p.

São Paulo 2017

Acesso online

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Study of silicon oxynitride films with low mechanical stress

Denise Criado Marco Isaías Alayo Chávez 1971-; Inés Pereyra 1947-; Márcia Carvalho de Abreu Fantini; Encontro da SBPMat (3. 2004 Foz do Iguaçu)

Program São Carlos: SBPMat, 2004

São Carlos SBPMat 2004

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Xanes characterization in PECVD-SiOxNy films

Denise Criado Marco Isaías Alayo Chávez 1971-; Inés Pereyra 1947-; Márcia Carvalho de Abreu Fantini; Encontro da SBPMat (3. 2004 Foz do Iguaçu)

Program São Carlos: SBPMat, 2004

São Carlos SBPMat 2004

Acesso online

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Structural analysis of silicon oxynitride films deposited by PECVD

Denise Criado Marco Isaías Alayo Chávez 1971-; Inés Pereyra 1947-; Márcia Carvalho de Abreu Fantini

Materials Science and Engineering B v. 112, n. 2-3, p. 123-127, 2004

São Paulo 2004

Acesso online

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Study of the mechanical and structural properties of silicon oxynitride films for optical applications

Denise Criado Marco Isaías Alayo Chávez 1971-; Márcia Carvalho de Abreu Fantini; Inés Pereyra 1947-

Journal of non-crystalline solids v. 352, n. 23-25, p. 2319-2323, 2006

Amsterdan 2006

Acesso online

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Local bonding in PECVD-"SiO IND.X" "N IND.Y" films

Denise Criado Marco Isaías Alayo Chávez 1971-; Márcia Carvalho de Abreu Fantini; Inés Pereyra 1947-

Journal of Non-Crystalline Solids Amsterdan v. 352, n. 9-20, p. 1298-1302, 2006

Amsterdan 2006

Acesso online

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