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1
Optical waveguides of PECVD silicon oxynitride films
Optical waveguides of PECVD silicon oxynitride films
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Artigo de Congresso 		Adicionar ao Meu Espaço

Optical waveguides of PECVD silicon oxynitride films

Marco Isaías Alayo Chávez 1971- Inés Pereyra 1947-; Wanderla Luis Scopel; Márcia Carvalho de Abreu Fantini; Encontro da Sociedade Brasileira de Pesquisa em Materiais (1. 2002 Rio de Janeiro)

Programa e Livro de Resumos Rio de Janeiro : SBPMat, 2002

Rio de Janeiro SBPMat 2002

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2
Comparison of the structural properties of the PECVD SIOXNY dielectric layer with the interface electrical properties in SI/SIOXNY/AL capacitors
Comparison of the structural properties of the PECVD SIOXNY dielectric layer with the interface electrical properties in SI/SIOXNY/AL capacitors
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Artigo de Congresso 		Adicionar ao Meu Espaço

Comparison of the structural properties of the PECVD SIOXNY dielectric layer with the interface electrical properties in SI/SIOXNY/AL capacitors

Katia Franklin Albertin Márcia Carvalho de Abreu Fantini; Inés Pereyra 1947-; Encontro da SBPMat (3. 2004 Foz do Iguaçu)

Program São Carlos: SBPMat, 2004

São Carlos SBPMat 2004

Acesso online

3
Study of the structural properties of the PECVD SiOxNy dielectric layers obtained with different RF powers by XANES and EXAFS analysis
Study of the structural properties of the PECVD SiOxNy dielectric layers obtained with different RF powers by XANES and EXAFS analysis
Material Type:
Artigo de Congresso 		Adicionar ao Meu Espaço

Study of the structural properties of the PECVD SiOxNy dielectric layers obtained with different RF powers by XANES and EXAFS analysis

Katia Franklin Albertin Márcia Carvalho de Abreu Fantini; Inés Pereyra 1947-; Brazilian MRS Meeting (5. 2006 Florianópolis, SC)

Abstracts

Florianópolis SBPMat - Sociedade Brasileira de Pesquisa em Materiais 2006

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4
EXAFS analysis on SiOxNy films
EXAFS analysis on SiOxNy films
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Artigo de Congresso 		Adicionar ao Meu Espaço

EXAFS analysis on SiOxNy films

Denise Criado Márcia Carvalho de Abreu Fantini; Inés Pereyra 1947-; Brazilian MRS Meeting (5. 2006 Florianópolis, SC)

Abstracts

Florianópolis SBPMat - Sociedade Brasileira de Pesquisa em Materiais 2006

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5
Xanes characterization in PECVD-SiOxNy films
Xanes characterization in PECVD-SiOxNy films
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Artigo de Congresso 		Adicionar ao Meu Espaço

Xanes characterization in PECVD-SiOxNy films

Denise Criado Marco Isaías Alayo Chávez 1971-; Inés Pereyra 1947-; Márcia Carvalho de Abreu Fantini; Encontro da SBPMat (3. 2004 Foz do Iguaçu)

Program São Carlos: SBPMat, 2004

São Carlos SBPMat 2004

Acesso online

6
Study of silicon oxynitride films with low mechanical stress
Study of silicon oxynitride films with low mechanical stress
Material Type:
Artigo de Congresso 		Adicionar ao Meu Espaço

Study of silicon oxynitride films with low mechanical stress

Denise Criado Marco Isaías Alayo Chávez 1971-; Inés Pereyra 1947-; Márcia Carvalho de Abreu Fantini; Encontro da SBPMat (3. 2004 Foz do Iguaçu)

Program São Carlos: SBPMat, 2004

São Carlos SBPMat 2004

Acesso online

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Structural analysis of silicon oxynitride films deposited by PECVD
Structural analysis of silicon oxynitride films deposited by PECVD
Material Type:
Artigo 		Adicionar ao Meu Espaço

Structural analysis of silicon oxynitride films deposited by PECVD

Denise Criado Marco Isaías Alayo Chávez 1971-; Inés Pereyra 1947-; Márcia Carvalho de Abreu Fantini

Materials Science and Engineering B v. 112, n. 2-3, p. 123-127, 2004

São Paulo 2004

Acesso online

8
Structural analysis of silicon oxynitride films deposited by PECVD
Structural analysis of silicon oxynitride films deposited by PECVD
Material Type:
Artigo 		Adicionar ao Meu Espaço

Structural analysis of silicon oxynitride films deposited by PECVD

Denise Criado Marco Isaías Alayo Chávez 1971-; Inés Pereyra 1947-; Márcia Carvalho de Abreu Fantini

Materials Science and Engineering B v. 112, n. 2-3, p. 123-127, 2004

São Paulo 2004

Acesso online

9
Evidence of clusters size-dependent photoluminescence on silicon-rich silicon oxynitride films
Evidence of clusters size-dependent photoluminescence on silicon-rich silicon oxynitride films
Material Type:
Artigo 		Adicionar ao Meu Espaço

Evidence of clusters size-dependent photoluminescence on silicon-rich silicon oxynitride films

Inés Pereyra 1947- Márcia Carvalho de Abreu Fantini; Marco Isaías Alayo Chávez 1971-; R A R Oliveira; M Ribeiro; Wanderla Luis Scopel

Materials Science and Engineering B v. 112, n. 2-3, p. 116-119, 2004

São Paulo 2004

Acesso online

10
Evidence of clusters size-dependent photoluminescence on silicon-rich silicon oxynitride films
Evidence of clusters size-dependent photoluminescence on silicon-rich silicon oxynitride films
Material Type:
Artigo 		Adicionar ao Meu Espaço

Evidence of clusters size-dependent photoluminescence on silicon-rich silicon oxynitride films

Inés Pereyra 1947- Márcia Carvalho de Abreu Fantini; Marco Isaías Alayo Chávez 1971-; R A R Oliveira; M Ribeiro; Wanderla Luis Scopel

Materials Science and Engineering B v. 112, n. 2-3, p. 116-119, 2004

São Paulo 2004

Acesso online

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  1. Pereyra, I
  2. Fantini, M
  3. Alayo Chávez, M
  4. Criado, D
  5. Scopel, W

Neste Assunto:

  1. Materiais
  2. Filmes Finos
  3. Matéria Condensada
  4. Física De Plasmas
  5. Fotoluminescência

  • Realização: ABCD-USP USP   Logos de Redes Sociais: Freepik

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