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Material Type: Artigo
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化学機械研磨によるMEMS X線光学系の反射率の改善
藤谷, 麻衣子 ; 江副, 祐一郎 ; 石川, 久美 ; 福島, 碧都 ; 沼澤, 正樹 ; 伊師, 大貴 ; 大坪, 亮太 ; 鈴木, 光 ; 永利, 光 ; 湯浅, 辰哉 ; 大橋, 隆哉 ; 満田, 和久
応用物理学会学術講演会講演予稿集, 2018/09/05, pp.1629-1629
公益社団法人 応用物理学会
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2
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Material Type: Artigo
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原子層堆積法によるシリコン X 線微細孔工学系の Pt 膜付け加工
武内, 数馬 ; 江副, 祐一郎 ; 石川, 久美 ; 沼澤, 正樹 ; 寺田, 優 ; 伊師, 大貴 ; 藤谷, 麻衣子 ; 糸山, 隆仁 ; 大坪, 亮太 ; 福島, 碧都 ; J., Sowa Mark ; 大橋, 隆哉 ; 満田, 和久
応用物理学会学術講演会講演予稿集, 2017/08/25, pp.1596-1596
公益社団法人 応用物理学会
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3
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Material Type: Artigo
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超軽量X線光学系の表面粗さ改善に向けた長時間アニール
伊師, 大貴 ; 江副, 祐一郎 ; 石川, 久美 ; 沼澤, 正樹 ; 武内, 数馬 ; 寺田, 優 ; 藤谷, 麻衣子 ; 糸山, 隆仁 ; 大坪, 亮太 ; 福島, 碧斗 ; 大橋, 隆哉 ; 金森, 義明 ; 満田, 和久
応用物理学会学術講演会講演予稿集, 2017/08/25, pp.1595-1595
公益社団法人 応用物理学会
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