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1	Material Type: Artigo		化学機械研磨によるMEMS X線光学系の反射率の改善藤谷, 麻衣子 ; 江副, 祐一郎 ; 石川, 久美 ; 福島, 碧都 ; 沼澤, 正樹 ; 伊師, 大貴 ; 大坪, 亮太 ; 鈴木, 光 ; 永利, 光 ; 湯浅, 辰哉 ; 大橋, 隆哉 ; 満田, 和久応用物理学会学術講演会講演予稿集, 2018/09/05, pp.1629-1629 公益社団法人応用物理学会 Sem texto completo Serviços Detalhes Resenhas & Tags Nº de Citações Citações Citado por