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Influência da pressão de argonio na uniformidade de filmes finos depositados por sputtering

Antônio Luís Pacheco Rotondaro H. S Maciel; Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletrônica (4. 1989 Porto Alegre)

Anais Porto Alegre : Sbmicro/Ufrgs, 1989

Porto Alegre Sbmicro/Ufrgs 1989

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Título:
Influência da pressão de argonio na uniformidade de filmes finos depositados por sputtering
Autor: Antônio Luís Pacheco Rotondaro
H. S Maciel; Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletrônica (4. 1989 Porto Alegre)
Assuntos: FILMES FINOS
É parte de: Anais Porto Alegre : Sbmicro/Ufrgs, 1989
Editor: Porto Alegre Sbmicro/Ufrgs
Data de criação/publicação: 1989
Formato: v.1 p.391-402.
Idioma: Português

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