skip to main content
Visitante
Meu Espaço
Minha Conta
Sair
Identificação
This feature requires javascript
Tags
Revistas Eletrônicas (eJournals)
Livros Eletrônicos (eBooks)
Bases de Dados
Bibliotecas USP
Ajuda
Ajuda
Idioma:
Inglês
Espanhol
Português
This feature required javascript
This feature requires javascript
Primo Search
Busca Geral
Busca Geral
Acervo Físico
Acervo Físico
Produção Intelectual da USP
Produção USP
Search For:
Clear Search Box
Search in:
Busca Geral
Or select another collection:
Search in:
Busca Geral
Busca Avançada
Busca por Índices
This feature requires javascript
This feature requires javascript
0.3-micron Optical Lithography Using A Phase-Shifting Mask
Terasawa, Tsuneo ; Hasegawa, Norio ; Kurosaki, Toshiei ; Tanaka, Toshihiko
SPIE 1989
Sem texto completo
Citações
Citado por
Serviços
Detalhes
Resenhas & Tags
Nº de Citações
Enviar para
Adicionar ao Meu Espaço
Remover do Meu Espaço
E-mail (máximo 30 registros por vez)
Imprimir
Link permanente
Referência
EasyBib
EndNote
RefWorks
del.icio.us
Exportar RIS
Exportar BibTeX
This feature requires javascript
Identifique-se para postar sua resenha
Avalie este item
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
Aqui você pode escrever a sua resenha
Eu concordo que o meu nome apareça ao lado da resenha (opcional)
Eu concordo que a biblioteca use esta resenha.
(required)
Identifique-se para adicionar novas tags
Todas as tags
Nuvem
Todas as tags
Lista
This feature requires javascript
Voltar para lista de resultados
This feature requires javascript
This feature requires javascript
Buscando em bases de dados remotas. Favor aguardar.
Buscando por
em
scope:(USP_PRODUCAO),scope:(USP_EBOOKS),scope:("PRIMO"),scope:(USP),scope:(USP_EREVISTAS),scope:(USP_FISICO),primo_central_multiple_fe
Mostrar o que foi encontrado até o momento
This feature requires javascript
This feature requires javascript
Página Inicial
RSS
Feed
Políticas
Fale Conosco
Logos de Redes Sociais: 
Logos de Redes Sociais: