Thin film characterization of zinc tin oxide deposited by thermal atomic layer deposition
Mullings, Marja N. ; Hägglund, Carl ; Tanskanen, Jukka T. ; Yee, Yesheng ; Geyer, Scott ; Bent, Stacey F.
Thin Solid Films, 2014-04, Vol.556, p.186-194 [Periódico revisado por pares]Amsterdam: Elsevier B.V
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