Influência da pressão de argonio na uniformidade de filmes finos depositados por sputtering
Antônio Luís Pacheco Rotondaro H. S Maciel; Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletrônica (4. 1989 Porto Alegre)
Anais Porto Alegre : Sbmicro/Ufrgs, 1989Porto Alegre Sbmicro/Ufrgs 1989
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