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POSSIBILITY OF THE LOW-TEMPERATURE PLASTIC DEFORMATION OF THE SURFACE OF SINGLE-CRYSTAL SILICON

ALEKHIN, V P ; Gusev, O V ; Petrov, Y N ; TREFILOV, V I ; SHORSHOROV, M K

DOKLADY AKAD NAUK SSSR, 1969-09, Vol.188 (2), p.326-329

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