Microlithography : science and technology

Kazuaki Suzuki; Bruce W. Smith 1959-

Localização: IF - Instituto de Física (621.381531 S968m 2.ed ex.2 )(Acessar)

Título:
Microlithography : science and technology
Autor: Kazuaki Suzuki; Bruce W. Smith 1959-
Assuntos: Microlithography -- Industrial applications; Integrated circuits -- Masks; Metal oxide semiconductors, Complementary -- Design and construction; Manufacturing processes; CIRCUITOS INTEGRADOS (CONGRESSOS); SEMICONDUTORES (CONGRESSOS)
Notas: Includes bibliographical references and index.
Títulos relacionados: Série:Optical science and engineering (Boca Raton, Fla.) ; 126.
Editor: Boca Raton : CRC Press
Data de criação/publicação: c2007
Formato: 848 p. : ill. ; 27 cm..
Idioma: Inglês

Links

Voltar para lista de resultados