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A Solid-State Thin-Film Electrolyte, Lithium Silicon Oxynitride, Deposited by using RF Sputtering for Thin-Film Batteries

Dan Na ; Byeongjun Lee ; Baeksang Yoon ; Inseok Seo

Journal of the Korean Physical Society, 2020-05, p.855-859 [Periódico revisado por pares]

한국물리학회

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