IR emission from the target during plasma magnetron sputter deposition

Cormier, P.-A. ; Thomann, A.-L. ; Dolique, V. ; Balhamri, A. ; Dussart, R. ; Semmar, N. ; Lecas, T. ; Brault, P. ; Snyders, R. ; Konstantinidis, S.

Thin solid films, 2013-10, Vol.545, p.44-49 [Periódico revisado por pares]

Amsterdam: Elsevier B.V

Texto completo disponível