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Construcao e desenvolvimento de um equipamento integrado para a deposicao de oxidos de silicio

Nilton Itiro Morimoto 1962- A R Cardoso; Maria Lucia Pereira da Silva 1957-; Newton Yoshiyuki Shibata; Adolfo Tsuyama Escote; W T Matsumura; Jacobus Willibrordus Swart 1950-; Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletronica (7. 1992 São Paulo)

Anais São Paulo : Sbmicro/Epusp, 1992

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Título:
Construcao e desenvolvimento de um equipamento integrado para a deposicao de oxidos de silicio
Autor: Nilton Itiro Morimoto 1962-
A R Cardoso; Maria Lucia Pereira da Silva 1957-; Newton Yoshiyuki Shibata; Adolfo Tsuyama Escote; W T Matsumura; Jacobus Willibrordus Swart 1950-; Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletronica (7. 1992 São Paulo)
Assuntos: SEMICONDUTORES
É parte de: Anais São Paulo : Sbmicro/Epusp, 1992
Editor: São Paulo Sbmicro/Epusp
Data de criação/publicação: 1992
Formato: p.565-74.
Idioma: Português

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