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Estudo do crescimento lateral do siliceto de 'CO' formado por rtr (recozimento termico rapido)

Mauricio Massazumi Oka Jacobus Willibrordus Swart 1950-; Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletronica (6. 1991 Belo Horizonte)

Anais Belo Horizonte : Sbmicro/Ufmg, 1991

Belo Horizonte Sbmicro/Ufmg 1991

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