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Charge transport in HfO 2 due to multiphonon traps ionization mechanism in SiO 2 /HfO 2 stacks

Novikov, Yu. N.

Journal of Applied Physics, 14 January 2013, Vol.113(2) [Periódico revisado por pares]

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Artigo
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Charge transport-accumulation in multilayer structures with {[Si.sub.3][N.sub.4]} and thick(5.5?nm) Si[O.sub.2].(Report)

Novikov, Yu. N.

Journal of Applied Physics, April 21, 2015, Vol.117(15) [Periódico revisado por pares]

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Short-range order in amorphous SiO x by x ray photoelectron spectroscopy

Novikov, Yu. N. ; Gritsenko, V. A.

Journal of Applied Physics, 01 July 2011, Vol.110(1) [Periódico revisado por pares]

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Test Object for SEM Calibration. 1. Methods for Quality Control of Manufacturing

Novikov, Yu.

Journal of Surface Investigation: X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques, 2017, Vol.11(6), pp.1260-1264 [Periódico revisado por pares]

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Scanning electron microscope resolution: 2. Resolution measurements using structures with a rectangular profile

Novikov, Yu.

Journal of Surface Investigation. X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques, 2013, Vol.7(4), pp.802-809 [Periódico revisado por pares]

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Effect of the inclination of a test object on the calibration of an SEM

Novikov, Yu.

Journal of Surface Investigation. X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques, 2013, Vol.7(6), pp.1283-1288 [Periódico revisado por pares]

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Artigo
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Virtual scanning electron microscope: 1. Objectives and tasks of virtual measuring instruments

Novikov, Yu.

Journal of Surface Investigation. X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques, 2014, Vol.8(6), pp.1244-1251 [Periódico revisado por pares]

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Imaging of a test object with a trapezoidal profile and large side wall inclinations in a scanning electron microscope in the backscattered electron mode

Novikov, Yu.

Journal of Surface Investigation. X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques, 2011, Vol.5(5), pp.917-923 [Periódico revisado por pares]

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A virtual scanning electron microscope. 3. A semiempirical model of the SEM signal generation

Novikov, Yu.

Russian Microelectronics, 2014, Vol.43(4), pp.258-269 [Periódico revisado por pares]

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Backscattered electron imaging of micro- and nanostructures: 5. SEM signal formation model

Novikov, Yu.

Journal of Surface Investigation. X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques, 2016, Vol.10(5), pp.892-905 [Periódico revisado por pares]

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