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Artigo
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Definition of 15nm half pitch grating structures by electron beam lithography double exposure techniques

Bolten, Jens ; Koo, Namil ; Wahlbrink, Thorsten ; Kurz, Heinrich

Microelectronic Engineering, Oct, 2013, Vol.110, p.224(5) [Periódico revisado por pares]

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2
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Synthesis of graphene on silicon dioxide by a solid carbon source

Hofrichter, Jens ; Szafranek, Bartholomäus N ; Otto, Martin ; Echtermeyer, Tim J ; Baus, Matthias ; Majerus, Anne ; Geringer, Viktor ; Ramsteiner, Manfred ; Kurz, Heinrich

Nano letters, January 2010, Vol.10(1), pp.36-42 [Periódico revisado por pares]

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3
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Artigo
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Three-dimensional simulation model of switching dynamics in phase change random access memory cells

Kim, Dae-Hwang ; Merget, Florian ; Först, Michael ; Kurz, Heinrich

Journal of Applied Physics, 15 March 2007, Vol.101(6) [Periódico revisado por pares]

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Artigo
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Tailored etching processes for UV-NIL resist material for Si-antireflective surfaces.(Report)

Plachetka, Ulrich ; Kim, Jung Wuk ; Khandelwal, Rahul ; Windgassen, Horst ; Moormann, Christian ; Kurz, Heinrich

Microelectronic Engineering, Oct, 2013, Vol.110, p.361(4) [Periódico revisado por pares]

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5
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Artigo
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Fabrication of MOSFETs by 3D soft UV-nanoimprint

Koo, Namil ; Schmidt, Mathias ; Mollenhauer, Thomas ; Moormann, Christian ; Schlachter, Florian ; Kurz, Heinrich

Microelectronic Engineering, Sept, 2012, Vol.97, p.85(4) [Periódico revisado por pares]

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Implementation of electron beam grey scale lithography and proximity effect correction for silicon nanowire device fabrication

Bolten, Jens ; Wahlbrink, Thorsten ; Schmidt, Mathias ; Gottlob, Heinrich D.B ; Kurz, Heinrich

Microelectronic Engineering, August 2011, Vol.88(8), pp.1910-1912 [Periódico revisado por pares]

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7
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Artigo
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Low-loss terahertz transmission through curved metallic slit waveguides fabricated by spark erosion

Wächter, Markus ; Nagel, Michael ; Kurz, Heinrich

Applied Physics Letters, 21 April 2008, Vol.92(16) [Periódico revisado por pares]

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8
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Erratum: “Metallic slit waveguide for dispersion-free low-loss terahertz signal transmission” [ Appl. Phys. Lett. 90 , 061111 ( 2007 ) ]

Wächter, Markus ; Nagel, Michael ; Kurz, Heinrich

Applied Physics Letters, 10 March 2008, Vol.92(10) [Periódico revisado por pares]

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9
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Artigo
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Study on fabrication tolerances of SOI based directional couplers and ring resonators

Prinzen, Andreas ; Bolten, Jens ; Waldow, Michael ; Kurz, Heinrich

Microelectronic Engineering, June 1, 2014, Vol.121, p.51(4) [Periódico revisado por pares]

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10
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Artigo
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Contact-free fault location and imaging with on-chip terahertz time-domain reflectometry

Nagel, Michael ; Michalski, Alexander ; Kurz, Heinrich

Optics express, 20 June 2011, Vol.19(13), pp.12509-14 [Periódico revisado por pares]

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