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Artigo
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Doping of High-Quality Epitaxial Silicon Grown by Hot-Wire Chemical Vapor Deposition Near 700 ..deg..C

Martin, I. T ; Branz, H. M ; Stradins, P ; Young, D. L ; Reedy, R. C ; Teplin, C. W National Renewable Energy Lab. (Nrel), Golden, CO (United States) (Corporate Author)

Thin Solid Films, 01 January 2009, Vol.517(12, 2009) [Periódico revisado por pares]

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