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The effect of discharge chamber geometry on the ignition of low-pressure rf capacitive discharges

Lisovskiy, V ; Martins, S ; Landry, K ; Douai, D ; Booth, J.-P ; Cassagne, V ; Yegorenkov, V ; Unaxis Displays Division France SAS, 5, Rue Leon Blum, Palaiseau 91120 ; Laboratoire de Physique et Technologie Des Plasmas, Ecole Polytechnique, Palaiseau 91128 ; Kharkov National University, Kharkov 61077

Physics of Plasmas, 15 September 2005, Vol.12(9) [Periódico revisado por pares]

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Modes and the alpha-gamma transition in rf capacitive discharges in N{sub 2}O at different rf frequencies

Lisovskiy, V ; Booth, J.-P ; Landry, K ; Douai, D ; Cassagne, V ; Yegorenkov, V ; Laboratoire de Physique et Technologie Des Plasmas, Ecole Polytechnique, Palaiseau 91128 ; Unaxis Displays Division France SAS, 5, Rue Leon Blum, Palaiseau 91120 ; Kharkov National University, Kharkov 61077

Physics of Plasmas, 15 October 2006, Vol.13(10) [Periódico revisado por pares]

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