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Structural properties of β-Ga2O3 formed by dry thermal oxidization process on GaN
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Structural properties of β-Ga2O3 formed by dry thermal oxidization process on GaN

Wei, Wei ; Qin, ZhiXin ; Zhao, Sheng ; Liu, Fang ; Fan, ShunFei ; Zheng, JiaXin ; Zhang, GuoYi

Materials science in semiconductor processing, 2012-10, Vol.15 (5), p.578-581 [Periódico revisado por pares]

Kidlington: Elsevier Ltd

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