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Refinado por: Nome da Publicação: Applied Physics Letters remover Base de dados/Biblioteca: Publisher or Other Site remover assunto: Condensed Matter: Structure, Mechanical And Thermal Properties remover
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Indirect trench sidewall doping by implantation of reflected ion
Indirect trench sidewall doping by implantation of reflected ion
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Indirect trench sidewall doping by implantation of reflected ion

FUSE, G ; OGAWA, H ; TAMURA, K ; NAITO, Y ; IWASAKI, H

Applied physics letters, 1989, Vol.54 (16), p.1534-1536 [Periódico revisado por pares]

Melville, NY: American Institute of Physics

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SiFx and SFx molecular ion implantations into GaAs
SiFx and SFx molecular ion implantations into GaAs
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SiFx and SFx molecular ion implantations into GaAs

TAMURA, A ; INOUE, K ; ONUMA, T ; SATO, M

Applied physics letters, 1987-11, Vol.51 (19), p.1503-1505 [Periódico revisado por pares]

Melville, NY: American Institute of Physics

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