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Refinado por: assunto: Plasma (Microeletrônica) remover tipo de recurso: Produções Acadêmicas remover
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1
Desenvolvimento de um gerador de microplasma utilizando a tecnologia LTCC.
Desenvolvimento de um gerador de microplasma utilizando a tecnologia LTCC.
Material Type:
Tese de Doutorado 		Adicionar ao Meu Espaço

Desenvolvimento de um gerador de microplasma utilizando a tecnologia LTCC.

Yamamoto, Roberto Katsuhiro

Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP; Universidade de São Paulo; Escola Politécnica 2008-05-16

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2
Construção de uma tocha indutiva para obtenção de plasma térmico à pressão atmosférica.
Construção de uma tocha indutiva para obtenção de plasma térmico à pressão atmosférica.
Material Type:
Dissertação de Mestrado 		Adicionar ao Meu Espaço

Construção de uma tocha indutiva para obtenção de plasma térmico à pressão atmosférica.

Isoldi, Maurício

Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP; Universidade de São Paulo; Escola Politécnica 2012-12-17

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3
Caracterização de filmes finos de óxido de silício depositados em um reator HD-PECVD a partir de TEOS a ultra baixa temperatura.
Caracterização de filmes finos de óxido de silício depositados em um reator HD-PECVD a partir de TEOS a ultra baixa temperatura.
Material Type:
Dissertação de Mestrado 		Adicionar ao Meu Espaço

Caracterização de filmes finos de óxido de silício depositados em um reator HD-PECVD a partir de TEOS a ultra baixa temperatura.

Rocha, Otávio Filipe Da

Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP; Universidade de São Paulo; Escola Politécnica 2007-08-24

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4
Plasmas fluorados com acoplamento indutivo.
Plasmas fluorados com acoplamento indutivo.
Material Type:
Dissertação de Mestrado 		Adicionar ao Meu Espaço

Plasmas fluorados com acoplamento indutivo.

Rodrigues, Bruno Da Silva

Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP; Universidade de São Paulo; Escola Politécnica 2006-02-06

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5
Modificação de filmes finos adsorventes visando a melhoria da detecção de compostos orgânicos voláteis/umidade.
Modificação de filmes finos adsorventes visando a melhoria da detecção de compostos orgânicos voláteis/umidade.
Material Type:
Dissertação de Mestrado 		Adicionar ao Meu Espaço

Modificação de filmes finos adsorventes visando a melhoria da detecção de compostos orgânicos voláteis/umidade.

Jesus, Alexandre Alves De

Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP; Universidade de São Paulo; Escola Politécnica 2013-04-26

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6
Filtros interferenciais construídos com dielétricos depositados pela técnica de PECVD.
Filtros interferenciais construídos com dielétricos depositados pela técnica de PECVD.
Material Type:
Dissertação de Mestrado 		Adicionar ao Meu Espaço

Filtros interferenciais construídos com dielétricos depositados pela técnica de PECVD.

Martins, Gustavo Da Silva Pires

Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP; Universidade de São Paulo; Escola Politécnica 2008-06-19

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7
Estudo de compósito formado por nanopartículas de ouro em matriz polimérica como substratos para análise SERS.
Estudo de compósito formado por nanopartículas de ouro em matriz polimérica como substratos para análise SERS.
Material Type:
Dissertação de Mestrado 		Adicionar ao Meu Espaço

Estudo de compósito formado por nanopartículas de ouro em matriz polimérica como substratos para análise SERS.

Gushiken, Natália Kazumi

Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP; Universidade de São Paulo; Escola Politécnica 2019-05-07

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8
Síntese e caracterização de nanotubos de carbono mediante as técnicas de CVD e PECVD.
Síntese e caracterização de nanotubos de carbono mediante as técnicas de CVD e PECVD.
Material Type:
Tese de Doutorado 		Adicionar ao Meu Espaço

Síntese e caracterização de nanotubos de carbono mediante as técnicas de CVD e PECVD.

Lopez Silva, Diego Edison

Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP; Universidade de São Paulo; Escola Politécnica 2016-08-31

Acesso online. A biblioteca também possui exemplares impressos.

9
Estudo da pureza de filmes depositados por "Vacuum Arc Plasma Deposition System"
Estudo da pureza de filmes depositados por "Vacuum Arc Plasma Deposition System"
Material Type:
Dissertação de Mestrado 		Adicionar ao Meu Espaço

Estudo da pureza de filmes depositados por "Vacuum Arc Plasma Deposition System"

Deilton Reis Martins Maria Cecília Barbosa da Silveira Salvadori

2002

Localização: EPBC - Esc. Politécnica-Bib Central    (FD-3122 ) e outros locais(Acessar)

10
Deposição química a vapor de óxido de silício assistida por plasma de alta densidade acoplado indutivamente (ICP-CVD)
Deposição química a vapor de óxido de silício assistida por plasma de alta densidade acoplado indutivamente (ICP-CVD)
Material Type:
Dissertação de Mestrado 		Adicionar ao Meu Espaço

Deposição química a vapor de óxido de silício assistida por plasma de alta densidade acoplado indutivamente (ICP-CVD)

Ani Sobral Torres Ronaldo Domingues Mansano 1964-

2002

Localização: EPBC - Esc. Politécnica-Bib Central    (FD-3276 ) e outros locais(Acessar)

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Deste Autor:

  1. Mansano, R
  2. Verdonck, P
  3. Salvadori, M
  4. Silva, M
  5. Paez Carreño, M

Neste Assunto:

  1. Filmes Finos
  2. Silício
  3. Nanoparticles
  4. Polimerização
  5. Processos De Microeletrônica

  • Realização: ABCD-USP USP   Logos de Redes Sociais: Freepik

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