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Refinado por: Nome da Publicação: Thin Solid Films remover
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Study on precipitations of fluorine-doped silicon oxide
Study on precipitations of fluorine-doped silicon oxide
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Study on precipitations of fluorine-doped silicon oxide

Wu, Jun ; Wang, Ying-Lang ; Liu, Chuan-Pu ; Chang, Shih-Chieh ; Kuo, Cheng-Tzu ; Ay, Chyung

Thin solid films, 2004-01, Vol.447, p.599-604 [Periódico revisado por pares]

Elsevier B.V

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2
Effect of plasma process on low- k material and barrier layer performance
Effect of plasma process on low- k material and barrier layer performance
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Effect of plasma process on low- k material and barrier layer performance

Chen, X.T. ; Gui, D. ; Mo, Z.Q. ; Du, A.Y. ; Chi, D.Z. ; Wang, W.D. ; Wang, Y.H. ; Lu, D. ; Tang, L.J. ; Li, W.H. ; Wong, L.Y.

Thin solid films, 2006-05, Vol.504 (1), p.248-251 [Periódico revisado por pares]

Lausanne: Elsevier B.V

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3
Magnetic field enhances the graphitized structure and field emission effect of carbon nanotubes
Magnetic field enhances the graphitized structure and field emission effect of carbon nanotubes
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Magnetic field enhances the graphitized structure and field emission effect of carbon nanotubes

Lee, Shie-Heng ; Ma, Chen-Chi M. ; Yuen, Siu-Ming ; Teng, Chih-Chun ; Liao, Shu-Hang ; Huang, Yuan-Li ; Tsai, Ming-Chi ; Su, Ay ; Wang, Ikai

Thin solid films, 2011-04, Vol.519 (13), p.4166-4173 [Periódico revisado por pares]

Amsterdam: Elsevier B.V

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4
Moisture resistance and thermal stability of fluorine-incorporation siloxane-based low-dielectric-constant material
Moisture resistance and thermal stability of fluorine-incorporation siloxane-based low-dielectric-constant material
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Moisture resistance and thermal stability of fluorine-incorporation siloxane-based low-dielectric-constant material

Cheng, Y.L. ; Wang, Y.L. ; Wu, Y.L. ; Liu, C.P. ; Liu, C.W. ; Lan, J.K. ; O'Neil, M.L. ; Ay, Chyung ; Feng, M.S.

Thin solid films, 2004-01, Vol.447, p.681-687 [Periódico revisado por pares]

Elsevier B.V

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5
Monitor and eliminate the circular defects in HDP–STI deposition through oxynitride/oxide composite liner
Monitor and eliminate the circular defects in HDP–STI deposition through oxynitride/oxide composite liner
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Monitor and eliminate the circular defects in HDP–STI deposition through oxynitride/oxide composite liner

Lan, Jin-Kun ; Wang, Ying-Lang ; Liu, Chuan-Pu ; Lee, Wen His ; Ay, Chyung ; Cheng, Yi-Lung ; Chang, Shih-Chieh

Thin solid films, 2004-01, Vol.447, p.645-650 [Periódico revisado por pares]

Elsevier B.V

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