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Refinado por: assunto: Plasma (Microeletrônica) remover Nome da Publicação: Proceedings remover
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Study of of the influence of the secondary electron emission coefficient in radio-frequency argonplasmas using particle in cell simulation
Study of of the influence of the secondary electron emission coefficient in radio-frequency argonplasmas using particle in cell simulation
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Artigo de Congresso 		Adicionar ao Meu Espaço

Study of of the influence of the secondary electron emission coefficient in radio-frequency argonplasmas using particle in cell simulation

Elias Rodrigues Cizzoto Marisa Roberto; Patrick Bernard Verdonck 1958-; Homero Santiago Maciel; International Symposium on Microelectronics Technology and Devices - SBMICRO (18. 2003 São Paulo)

Proceedings. Pennington : The Electrochemical Society, 2003

Pennington The Electrochemical Society 2003

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  2. Verdonck, P
  3. Roberto, M
  4. International Symposium on Microelectronics Technology and Devices - SBMICRO
  5. Maciel, H

Neste Assunto:

  1. Plasma (Microeletrônica)

  • Realização: ABCD-USP USP   Logos de Redes Sociais: Freepik

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