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Radio frequency dual magnetron sputtering deposition and characterization of nanocomposite Al 2 O 3 – Zr O 2 thin films

Trinh, D. H. ; Högberg, H. ; Andersson, J. M. ; Collin, M. ; Reineck, I. ; Helmersson, U. ; Hultman, L.

Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films, March 2006, Vol.24(2), pp.309-316 [Periódico revisado por pares]

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