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Physical properties of epitaxial ZrN/MgO(001) layers grown by reactive magnetron sputtering

Mei, A. B. ; Howe, B. M. ; Zhang, C. ; Sardela, M. ; Eckstein, J. N. ; Hultman, L. ; Rockett, A. ; Petrov, I. ; Greene, J. E.

Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films, November 2013, Vol.31(6) [Periódico revisado por pares]

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2
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Epitaxial V 0.6 W 0.4 N/MgO(001): Evidence for ordering on the cation sublattice

Kindlund, H. ; Lu, J. ; Jensen, J. ; Petrov, I. ; Greene, J. E. ; Hultman, L.

Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films, July 2013, Vol.31(4) [Periódico revisado por pares]

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Synchrotron x-ray diffraction and transmission electron microscopy studies of interfacial reaction paths and kinetics during annealing of fully-002-textured Al/TiN bilayers

Chun, J.-S. ; Carlsson, J. R. A. ; Desjardins, P. ; Bergstrom, D. B. ; Petrov, I. ; Greene, J. E. ; Lavoie, C. ; Cabral, C. ; Hultman, L.

Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films, January 2001, Vol.19(1), pp.182-191 [Periódico revisado por pares]

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Radio frequency dual magnetron sputtering deposition and characterization of nanocomposite Al 2 O 3 – Zr O 2 thin films

Trinh, D. H. ; Högberg, H. ; Andersson, J. M. ; Collin, M. ; Reineck, I. ; Helmersson, U. ; Hultman, L.

Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films, March 2006, Vol.24(2), pp.309-316 [Periódico revisado por pares]

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