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Artigo de Congresso
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EXAFS analysis on SiOxNy films

Denise Criado Márcia Carvalho de Abreu Fantini; Inés Pereyra 1947-; Brazilian MRS Meeting (5. 2006 Florianópolis, SC)

Abstracts

Florianópolis SBPMat - Sociedade Brasileira de Pesquisa em Materiais 2006

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Artigo de Congresso
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Estrutura de ordem local de filmes de oxi-nitreto de silício amorfo higrogenado

Wanderla Luis Scopel Márcia Carvalho de Abreu Fantini; Inés Pereyra 1947-; Reunião Anual de Usuários do Laboratório Nacional de Luz Síncrotron-LNLS (10. 2000 Campinas)

Resumos de Trabalhos Campinas : LNLS, 2000

Campinas LNLS 2000

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Study of the structural properties of the PECVD SiOxNy dielectric layers obtained with different RF powers by XANES and EXAFS analysis

Katia Franklin Albertin Márcia Carvalho de Abreu Fantini; Inés Pereyra 1947-; Brazilian MRS Meeting (5. 2006 Florianópolis, SC)

Abstracts

Florianópolis SBPMat - Sociedade Brasileira de Pesquisa em Materiais 2006

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4
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Artigo de Congresso
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Exafs analysis on sioxny films

Inés Pereyra 1947- Márcia Carvalho de Abreu Fantini; Denise Criado; Encontro da Sociedade Brasileira de Pesquisas em Materiais (SBPMat (5. 2006 Florianopólis, SC)

Poster Session G522 Rio de Janeiro : SBPMat, 2006

Rio de Janeiro SBPMat 2006

Acesso online

5
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SAXS de filmes finos homogêneos de a-SiC:H

Rogerio Junqueira Prado Márcia Carvalho de Abreu Fantini; Inés Pereyra 1947-; Reunião Anual de Usuários do Laboratório Nacional de Luz Síncrotron-LNLS (10. 2000 Campinas)

Resumos de Trabalhos Campinas : LNLS, 2000

Campinas LNLS 2000

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Artigo de Congresso
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Xanes characterization in PECVD-SiOxNy films

Denise Criado Marco Isaías Alayo Chávez 1971-; Inés Pereyra 1947-; Márcia Carvalho de Abreu Fantini; Encontro da SBPMat (3. 2004 Foz do Iguaçu)

Program São Carlos: SBPMat, 2004

São Carlos SBPMat 2004

Acesso online

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Artigo de Congresso
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Study of silicon oxynitride films with low mechanical stress

Denise Criado Marco Isaías Alayo Chávez 1971-; Inés Pereyra 1947-; Márcia Carvalho de Abreu Fantini; Encontro da SBPMat (3. 2004 Foz do Iguaçu)

Program São Carlos: SBPMat, 2004

São Carlos SBPMat 2004

Acesso online

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Artigo de Congresso
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Comparison of the structural properties of the PECVD SIOXNY dielectric layer with the interface electrical properties in SI/SIOXNY/AL capacitors

Katia Franklin Albertin Márcia Carvalho de Abreu Fantini; Inés Pereyra 1947-; Encontro da SBPMat (3. 2004 Foz do Iguaçu)

Program São Carlos: SBPMat, 2004

São Carlos SBPMat 2004

Acesso online

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Artigo de Congresso
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On the structural properties of a-'SI IND.1-X''c ind.X h thin films

Valmor Roberto Mastelaro A M Flank; Márcia Carvalho de Abreu Fantini; Diomar da Rocha Santos Bittencourt; Marcelo Nelson Páez Carreño 1962-; Inés Pereyra 1947-; Workshop Anual de Usuarios do LNLS (5. 1994 Campinas)

Resumos Campinas : Lnls/Mct/Cnpq, 1994

Campinas Lnls/Mct/Cnpq 1994

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Artigo de Congresso
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Small angle x-ray scattering in amorphous films and multilayers

Márcia Carvalho de Abreu Fantini P V Santos; Marcelo Nelson Páez Carreño 1962-; Inés Pereyra 1947-; Workshop on Crystalline and Amorphous Silicon and Its Alloys (1992 Campinas)

Anais Campinas : Emopi, 1992

Campinas Emopi 1992

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