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Singularities of Polishing Substrates GaAs by Chemo-Dynamical and Non-Contact Chemo-Mechanical Methods

G. A. Pashchenko ; M. J. Kravetsky ; O. V. Fomin

Фізика і хімія твердого тіла, 01 October 2016, Vol.16(3), pp.560-564 [Periódico revisado por pares]

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