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Refinado por: assunto: Substrates remover assunto: Sputtering remover assunto: Engineering remover autor: Deniz, D. remover
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Fiber textures of titanium nitride and hafnium nitride thin films deposited by off-normal incidence magnetron sputtering

Deniz, D. ; Harper, J. M. E.

Journal of Applied Physics, 15 September 2008, Vol.104(6) [Periódico revisado por pares]

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Artigo
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Competitive growth mechanisms of aluminum nitride thin films deposited by off-normal reactive magnetron sputtering

Deniz, D. ; Karabacak, T. ; Harper, J. M. E.

Journal of Applied Physics, 15 April 2008, Vol.103(8) [Periódico revisado por pares]

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