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Edge Isolation Using Ultra-Short Pulse Laser Materials with a Top-Hat Beam Profile
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Edge Isolation Using Ultra-Short Pulse Laser Materials with a Top-Hat Beam Profile

Sedao, Xxx ; Sarnet, Thierry ; Hernandez, José Luis ; Schulz Ruhtenbuerg, Malte ; Krantz, Stephan

Advanced materials research, 2011, Vol.321, p.234-239 [Periódico revisado por pares]

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