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Control of the refractive index in PECVD SiOxNy films
Control of the refractive index in PECVD SiOxNy films
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Artigo de Congresso 		Adicionar ao Meu Espaço

Control of the refractive index in PECVD SiOxNy films

Marco Isaías Alayo Chávez 1971- Inés Pereyra 1947-; Wanderla Luis Scopel; Márcia Carvalho de Abreu Fantini; International Conference on Microelectronics and Packaging (15. 2000 Manaus)

SBMicro 2000 : proceedings Manaus : SBMicro/UA/UFRGS/UNICAMP/USP, 2000

Manaus SBMicro/UA/UFRGS/UNICAMP/USP 2000

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  1. Pereyra, I
  2. Fantini, M
  3. Scopel, W
  4. International Conference on Microelectronics and Packaging
  5. Alayo Chávez, M

Neste Assunto:

  1. Circuitos Integrados

  • Realização: ABCD-USP USP   Logos de Redes Sociais: Freepik

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