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Thickness and temperature depending intermixing of SiO x /SiO 2 and SiO x N y /SiO 2 superlattices: Experimental observation and thermodynamic modeling

Zhigunov, D. M. ; Sarikov, A. ; Chesnokov, Yu. M. ; Vasiliev, A. L. ; Zakharov, N. ; Kashkarov, P. K.

Applied Physics Letters, 30 May 2016, Vol.108(22) [Periódico revisado por pares]

© 2016 Author(s) (AIP)

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Thickness and temperature depending intermixing of SiO{sub x}/SiO{sub 2} and SiO{sub x}N{sub y}/SiO{sub 2} superlattices: Experimental observation and thermodynamic modeling

Zhigunov, D. M ; Sarikov, A ; V. Lashkarev Institute of Semiconductor Physics NAS Ukraine, 45 Nauki Avenue, 03028 Kiev ; Chesnokov, Yu. M ; Vasiliev, A. L ; Zakharov, N ; Kashkarov, P. K ; National Research Centre “kurchatov Institute”, Pl. Akademika Kurchatova 1, 123182 Moscow

Applied Physics Letters, 30 May 2016, Vol.108(22) [Periódico revisado por pares]

SciTech Connect (U.S. Dept. of Energy - Office of Scientific and Technical Information)

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