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Artigo
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Physical properties of epitaxial ZrN/MgO(001) layers grown by reactive magnetron sputtering

Mei, A. B ; Zhang, C ; Sardela, M ; Eckstein, J. N ; Rockett, A ; Howe, B. M ; Hultman, L ; Petrov, I ; Greene, J. E

Journal of Vacuum Science and Technology. A, Vacuum, Surfaces and Films, 15 November 2013, Vol.31(6) [Periódico revisado por pares]

SciTech Connect (U.S. Dept. of Energy - Office of Scientific and Technical Information)

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Physical properties of epitaxial ZrN/MgO(001) layers grown by reactive magnetron sputtering

Mei, A. B. ; Howe, B. M. ; Zhang, C. ; Sardela, M. ; Eckstein, J. N. ; Hultman, L. ; Rockett, A. ; Petrov, I. ; Greene, J. E.

Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films, November 2013, Vol.31(6) [Periódico revisado por pares]

© 2013 American Vacuum Society (AIP)

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