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1
Thin Film Processes
Thin Film Processes
Material Type:
Livro
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Thin Film Processes

Vossen Werner Kern; John L Vossen

Academic Press 1978

Acesso online. A biblioteca também possui exemplares impressos.

2
Material Type:
Dissertação de Mestrado
Adicionar ao Meu Espaço

Obtenção de filmes de Sn'O IND.2' com técnicas de baixo custo para aplicações em sensores

Ricardo Germano Stolf Francisco Javier Ramírez Fernandez 1944-

2001

Localização: EPBC - Esc. Politécnica-Bib Central    (FD-2997 ) e outros locais(Acessar)

3
Material Type:
Tese de Doutorado
Adicionar ao Meu Espaço

Desenvolvimento de um sistema multicâmara integrado para deposição e recozimento de filmes 'SI''O IND.2'

Nilton Itiro Morimoto 1962- Jacobus Willibrordus Swart 1950-

1995

Localização: EPBC - Esc. Politécnica-Bib Central    (FT-822 ) e outros locais(Acessar)

4
Material Type:
Revista
Adicionar ao Meu Espaço

Thin Solid Films

NETHERLANDS Elsevier

Acesso online. A biblioteca também possui exemplares impressos.

5
Material Type:
Dissertação de Mestrado
Adicionar ao Meu Espaço

Estudo do comportamento elétrico de dispositivos de potência a partir da otimização dos parâmetros de processo de deposição do filme SIPOS obtido por LPCVD

Alves, Marcelo Faustino

Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP; Universidade de São Paulo; Escola Politécnica 2003-02-26

Acesso online. A biblioteca também possui exemplares impressos.

6
Material Type:
Dissertação de Mestrado
Adicionar ao Meu Espaço

Estudo da pureza de filmes depositados por "Vacuum Arc Plasma Deposition System"

Deilton Reis Martins Maria Cecília Barbosa da Silveira Salvadori

2002

Localização: EPBC - Esc. Politécnica-Bib Central    (FD-3122 ) e outros locais(Acessar)

7
Material Type:
Dissertação de Mestrado
Adicionar ao Meu Espaço

Dopagem elétrica de filmes finos de carbeto de silício amorfo hidrogenado (a-SIC:H) obtido por PECVD

Alessandro Ricardo de Oliveira Marcelo Nelson Paez Carreño 1962-

2002

Localização: EPBC - Esc. Politécnica-Bib Central    (FD-3189 ) e outros locais(Acessar)

8
Material Type:
Dissertação de Mestrado
Adicionar ao Meu Espaço

Estudos de difusão de alumínio em ligas amorfas de carbono-silício

Robinson Oliva Salazar Inés Pereyra 1947-

2001

Localização: EPBC - Esc. Politécnica-Bib Central    (FD-2919 ) e outros locais(Acessar)

9
Material Type:
Dissertação de Mestrado
Adicionar ao Meu Espaço

Estudo e produção de ligas amorfas hidrogenadas de silício, oxigênio e nitrogênio, (a-SiOxNy:H), com aglomerados de silício, obtidas pela técnica de PECVD

Ricardo Aparecido Rodrigues de Oliveira Inés Pereyra 1947-

2003

Localização: EPBC - Esc. Politécnica-Bib Central    (FD-3365 ) e outros locais(Acessar)

10
Material Type:
Tese de Doutorado
Adicionar ao Meu Espaço

Desenvolvimento e aplicação de processos com plasma de alta densidade para a deposição de filmes de carbono

Ana Paula Mousinho dos Santos Ronaldo Domingues Mansano 1964-

2005

Localização: EPBC - Esc. Politécnica-Bib Central    (FT-2098 ) e outros locais(Acessar)

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  2. Morimoto, N
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