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Elaboration of nitride thin films by reactive sputtering
Elaboration of nitride thin films by reactive sputtering
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Elaboration of nitride thin films by reactive sputtering

Jouan, Pierre Yves ; Tricoteaux, Arnaud ; Horny, Nicolas

Rem : Revista Escola de Minas, 2006-06, Vol.59 (2), p.225-232

Escola de Minas

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