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Refinado por: Nome da Publicação: Microelectronics Technology and Devices SBMICRO 2005 remover
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Determination of the ion density and electron temperature using a planar electrostatic probe
Determination of the ion density and electron temperature using a planar electrostatic probe
Material Type:
Artigo de Congresso 		Adicionar ao Meu Espaço

Determination of the ion density and electron temperature using a planar electrostatic probe

Laura Swart Patrick Bernard Verdonck 1958-; International Symposium on Microelectronics Technology and Devices SBMICRO (20. 2005 Florianópolis)

Claeys, C.; Swart, J. W.; Morimoto, N. I.; Verdonck, P., eds. Microelectronics Technology and Devices SBMICRO 2005 Pennington : The Electrochemical Society, 2005. Proceedings v. 2005-08

Pennington The Electrochemical Society 2005

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Deste Autor:

  1. Swart, L
  2. International Symposium on Microelectronics Technology and Devices SBMICRO
  3. Verdonck, P

Neste Assunto:

  1. Microeletrônica

  • Realização: ABCD-USP USP   Logos de Redes Sociais: Freepik

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