skip to main content
Idioma:
Result Number Material Type Add to My Shelf Action Record Details and Options
1
Fabrication of submicron structures in polycristalline silicon by reactive ion etching using fluorine- and chlorine- containing plasmas
Fabrication of submicron structures in polycristalline silicon by reactive ion etching using fluorine- and chlorine- containing plasmas
Material Type:
Livro 		Adicionar ao Meu Espaço

Fabrication of submicron structures in polycristalline silicon by reactive ion etching using fluorine- and chlorine- containing plasmas

C Reyes Betanzo Stanislav A Moshkalyov; Antonio Carlos Seabra 1961-; Jacobus Willibrordus Swart 1950-

Martino J.A. ; Pavanello, M.A. ; Morimoto, N.I. eds Microelectronic Technology and Devices SBMicro 2003 Pennington : Electrochemical Society, 2003

Pennington Electrochemical Society 2003

Item não circula. Consulte sua biblioteca.(Acessar)

2
Study of power balance in electronegative capacitively coupled plasmas
Study of power balance in electronegative capacitively coupled plasmas
Material Type:
Artigo de Congresso 		Adicionar ao Meu Espaço

Study of power balance in electronegative capacitively coupled plasmas

Laura Swart Patrick Bernard Verdonck 1958-; Stanislav A Moshkalyov; International Symposium on Microelectronics Technology and Devices - SBMICRO (18. 2003 São Paulo)

Microelectronic Technology and Devices SBMicro 2003 Martino J. A.; Pavanello, M. A.; Morimoto, N. I. eds Pennington : The Electrochemical Society, 2003. Proceedings, v. 2003-9

Pennington The Electrochemical Society 2003

Item não circula. Consulte sua biblioteca.(Acessar)

3
Multipass thomson scattering diagnostics in tca-br tokamak
Multipass thomson scattering diagnostics in tca-br tokamak
Material Type:
Artigo de Congresso 		Adicionar ao Meu Espaço

Multipass thomson scattering diagnostics in tca-br tokamak

M Machida M Y U Kantor; S A Moshkalyov; S V Lebedev; D O Campos; L A Berni; Ivan Cunha Nascimento; R M O Galvao; Encontro Brasileiro de Fisica dos Plasmas (3. 1995 Águas de Lindóia, SP)

Proceedings São Jose dos Campos : Inpe, 1995

Sao Jose dos Campos Inpe 1995

Item não circula. Consulte sua biblioteca.(Acessar)

Personalize Seus Resultados

  1. Editar

Refine Search Results

Refinar Meus Resultados

Tipo de Recurso 

  1. Artigos  (2)
  2. Livros  (1)
  3. Mais opções open sub menu

Data de Publicação 

De até
Refinar

Novas Pesquisas Sugeridas

Ignorar minha busca e procurar por tudo

Deste Autor:

  1. Moshkalyov, S
  2. Lebedev, S
  3. Berni, L
  4. Reyes Betanzo, C
  5. Swart, L

Neste Assunto:

  1. Plasma (Microeletrônica)
  2. Microeletrônica
  3. Física De Plasmas

  • Realização: ABCD-USP USP   Logos de Redes Sociais: Freepik

Buscando em bases de dados remotas. Favor aguardar.