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1
Estudo da morfologia e estrutura de filmes de oxinitreto de silício (SiOxNy) obtidos pela técnica de PECVD.
Estudo da morfologia e estrutura de filmes de oxinitreto de silício (SiOxNy) obtidos pela técnica de PECVD.
Material Type:
Tese de Doutorado 		Adicionar ao Meu Espaço

Estudo da morfologia e estrutura de filmes de oxinitreto de silício (SiOxNy) obtidos pela técnica de PECVD.

Souza, Denise Criado Pereira De

Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP; Universidade de São Paulo; Escola Politécnica 2007-07-31

Acesso online. A biblioteca também possui exemplares impressos.

2
Estudo e produção de filmes de oxinitreto de silício (SiOxNy) pela técnica de PECVD.
Estudo e produção de filmes de oxinitreto de silício (SiOxNy) pela técnica de PECVD.
Material Type:
Dissertação de Mestrado 		Adicionar ao Meu Espaço

Estudo e produção de filmes de oxinitreto de silício (SiOxNy) pela técnica de PECVD.

Souza, Denise Criado Pereira De

Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP; Universidade de São Paulo; Escola Politécnica 2003-04-23

Acesso online. A biblioteca também possui exemplares impressos.

3
EXAFS analysis on SiOxNy films
EXAFS analysis on SiOxNy films
Material Type:
Artigo de Congresso 		Adicionar ao Meu Espaço

EXAFS analysis on SiOxNy films

Denise Criado Márcia Carvalho de Abreu Fantini; Inés Pereyra 1947-; Brazilian MRS Meeting (5. 2006 Florianópolis, SC)

Abstracts

Florianópolis SBPMat - Sociedade Brasileira de Pesquisa em Materiais 2006

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4
Exafs analysis on sioxny films
Exafs analysis on sioxny films
Material Type:
Artigo de Congresso 		Adicionar ao Meu Espaço

Exafs analysis on sioxny films

Inés Pereyra 1947- Márcia Carvalho de Abreu Fantini; Denise Criado; Encontro da Sociedade Brasileira de Pesquisas em Materiais (SBPMat (5. 2006 Florianopólis, SC)

Poster Session G522 Rio de Janeiro : SBPMat, 2006

Rio de Janeiro SBPMat 2006

Acesso online

5
Xanes characterization in PECVD-SiOxNy films
Xanes characterization in PECVD-SiOxNy films
Material Type:
Artigo de Congresso 		Adicionar ao Meu Espaço

Xanes characterization in PECVD-SiOxNy films

Denise Criado Marco Isaías Alayo Chávez 1971-; Inés Pereyra 1947-; Márcia Carvalho de Abreu Fantini; Encontro da SBPMat (3. 2004 Foz do Iguaçu)

Program São Carlos: SBPMat, 2004

São Carlos SBPMat 2004

Acesso online

6
Study of silicon oxynitride films with low mechanical stress
Study of silicon oxynitride films with low mechanical stress
Material Type:
Artigo de Congresso 		Adicionar ao Meu Espaço

Study of silicon oxynitride films with low mechanical stress

Denise Criado Marco Isaías Alayo Chávez 1971-; Inés Pereyra 1947-; Márcia Carvalho de Abreu Fantini; Encontro da SBPMat (3. 2004 Foz do Iguaçu)

Program São Carlos: SBPMat, 2004

São Carlos SBPMat 2004

Acesso online

7
Photoluminescenct silicon-rich silicon oxynitride alloys grown by PECVD
Photoluminescenct silicon-rich silicon oxynitride alloys grown by PECVD
Material Type:
Artigo de Congresso 		Adicionar ao Meu Espaço

Photoluminescenct silicon-rich silicon oxynitride alloys grown by PECVD

M. Ribeiro Denise Criado; R Aparecido; Inés Pereyra 1947-; Brazilian MRS Meeting (5. 2006 Florianópolis, SC)

Abstracts

Florianópolis SBPMat - Sociedade Brasileira de Pesquisa em Materiais 2006

Item não circula. Consulte sua biblioteca.(Acessar)

8
Structural analysis of silicon oxynitride films deposited by PECVD
Structural analysis of silicon oxynitride films deposited by PECVD
Material Type:
Artigo 		Adicionar ao Meu Espaço

Structural analysis of silicon oxynitride films deposited by PECVD

Denise Criado Marco Isaías Alayo Chávez 1971-; Inés Pereyra 1947-; Márcia Carvalho de Abreu Fantini

Materials Science and Engineering B v. 112, n. 2-3, p. 123-127, 2004

São Paulo 2004

Acesso online

9
Study of the mechanical and structural properties of silicon oxynitride films for optical applications
Study of the mechanical and structural properties of silicon oxynitride films for optical applications
Material Type:
Artigo 		Adicionar ao Meu Espaço

Study of the mechanical and structural properties of silicon oxynitride films for optical applications

Denise Criado Marco Isaías Alayo Chávez 1971-; Márcia Carvalho de Abreu Fantini; Inés Pereyra 1947-

Journal of non-crystalline solids v. 352, n. 23-25, p. 2319-2323, 2006

Amsterdan 2006

Acesso online

10
Local bonding in PECVD-"SiO IND.X" "N IND.Y" films
Local bonding in PECVD-"SiO IND.X" "N IND.Y" films
Material Type:
Artigo 		Adicionar ao Meu Espaço

Local bonding in PECVD-"SiO IND.X" "N IND.Y" films

Denise Criado Marco Isaías Alayo Chávez 1971-; Márcia Carvalho de Abreu Fantini; Inés Pereyra 1947-

Journal of Non-Crystalline Solids Amsterdan v. 352, n. 9-20, p. 1298-1302, 2006

Amsterdan 2006

Acesso online

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Neste Assunto:

  1. Filmes Finos
  2. Materiais
  3. Espectroscopia De Raio X
  4. Silício
  5. Difração Por Raios X

  • Realização: ABCD-USP USP   Logos de Redes Sociais: Freepik

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