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Artigo
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Titanium silicide formation and arsenic dopant behavior under rapid thermal treatments in vacuum

Rogério Furlan 1959- Jacobus Willibrordus Swart 1950-

Pennington v.136, n.6 , p.1806-11, jun. 1989 Journal of the Electrochemical Society

Pennington 1989

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Titanium silicide formation and arsenic dopant behavior under rapid thermal treatments in vacuum

Rogério Furlan 1959- Jacobus Willibrordus Swart 1950-

Pennington v.136, n.6 , p.1806-11, jun. 1989 Journal of the Electrochemical Society

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  1. Furlan, R
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