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Journal Of Applied Physics
| Result Number | Material Type | Add to My Shelf Action | Record Details and Options |
|---|---|---|---|
| 1 |
Material Type: Artigo
|
|
Capacitively coupled radio-frequency hydrogen discharges:The role of kineticsMarques, L. ; Jolly, J. ; Alves, L. L.Journal of applied physics, 2007-09, Vol.102 (6), p.063305-063305-14 [Periódico revisado por pares]United States: American Institute of PhysicsTexto completo disponível |
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