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Piezoelectric Aluminum Nitride Vibrating Contour-Mode MEMS Resonators
Piezoelectric Aluminum Nitride Vibrating Contour-Mode MEMS Resonators
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Piezoelectric Aluminum Nitride Vibrating Contour-Mode MEMS Resonators

Piazza, G. ; Stephanou, P.J. ; Pisano, A.P.

Journal of microelectromechanical systems, 2006-12, Vol.15 (6), p.1406-1418 [Periódico revisado por pares]

New York, NY: IEEE

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2
Micromachined One-Port Aluminum Nitride Lamb Wave Resonators Utilizing the Lowest-Order Symmetric Mode
Micromachined One-Port Aluminum Nitride Lamb Wave Resonators Utilizing the Lowest-Order Symmetric Mode
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Micromachined One-Port Aluminum Nitride Lamb Wave Resonators Utilizing the Lowest-Order Symmetric Mode

Chih-Ming Lin ; Yantchev, Ventsislav ; Jie Zou ; Yung-Yu Chen ; Pisano, Albert P.

Journal of microelectromechanical systems, 2014-02, Vol.23 (1), p.78-91 [Periódico revisado por pares]

New York, NY: IEEE

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3
Comparison of Au and Au-Ni Alloys as Contact Materials for MEMS Switches
Comparison of Au and Au-Ni Alloys as Contact Materials for MEMS Switches
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Comparison of Au and Au-Ni Alloys as Contact Materials for MEMS Switches

Zhenyin Yang ; Lichtenwalner, D.J. ; Morris, A.S. ; Krim, J. ; Kingon, A.I.

Journal of microelectromechanical systems, 2009-04, Vol.18 (2), p.287-295 [Periódico revisado por pares]

New York, NY: IEEE

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4
A 3-D Stacked High- Q PI-Based MEMS Inductor for Wireless Power Transmission System in Bio-Implanted Applications
A 3-D Stacked High- Q PI-Based MEMS Inductor for Wireless Power Transmission System in Bio-Implanted Applications
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A 3-D Stacked High- Q PI-Based MEMS Inductor for Wireless Power Transmission System in Bio-Implanted Applications

Sun, Xuming ; Peng, Xuhua ; Zheng, Yang ; Li, Xiuhan ; Zhang, Haixia

Journal of microelectromechanical systems, 2014-08, Vol.23 (4), p.888-898 [Periódico revisado por pares]

New York, NY: IEEE

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5
Inline capacitive RF power sensor based on floating MEMS beam for GaAs MMIC applications
Inline capacitive RF power sensor based on floating MEMS beam for GaAs MMIC applications
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Inline capacitive RF power sensor based on floating MEMS beam for GaAs MMIC applications

Zhang, Zhiqiang ; Liao, Xiaoping

Electronics letters, 2014-08, Vol.50 (18), p.1292-1294 [Periódico revisado por pares]

Stevenage: The Institution of Engineering and Technology

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6
Thermal performance of a flat polymer heat pipe heat spreader under high acceleration
Thermal performance of a flat polymer heat pipe heat spreader under high acceleration
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Thermal performance of a flat polymer heat pipe heat spreader under high acceleration

Oshman, Christopher ; Li, Qian ; Liew, Li-Anne ; Yang, Ronggui ; Lee, Y C ; Bright, Victor M ; Sharar, Darin J ; Jankowski, Nicholas R ; Morgan, Brian C

Journal of micromechanics and microengineering, 2012-04, Vol.22 (4), p.45018-12 [Periódico revisado por pares]

Bristol: IOP Publishing

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7
Lifetime limitations of ohmic, contacting RF MEMS switches with Au, Pt and Ir contact materials due to accumulation of 'friction polymer' on the contacts
Lifetime limitations of ohmic, contacting RF MEMS switches with Au, Pt and Ir contact materials due to accumulation of 'friction polymer' on the contacts
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Lifetime limitations of ohmic, contacting RF MEMS switches with Au, Pt and Ir contact materials due to accumulation of 'friction polymer' on the contacts

Czaplewski, David A ; Nordquist, Christopher D ; Dyck, Christopher W ; Patrizi, Gary A ; Kraus, Garth M ; Cowan, William D

Journal of micromechanics and microengineering, 2012-10, Vol.22 (10), p.105005-12 [Periódico revisado por pares]

Bristol: IOP Publishing

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8
Post-CMOS-Compatible Aluminum Nitride Resonant MEMS Accelerometers
Post-CMOS-Compatible Aluminum Nitride Resonant MEMS Accelerometers
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Post-CMOS-Compatible Aluminum Nitride Resonant MEMS Accelerometers

Olsson, Roy H. ; Wojciechowski, Kenneth E. ; Baker, Michael S. ; Tuck, Melanie R. ; Fleming, James G.

Journal of microelectromechanical systems, 2009-06, Vol.18 (3), p.671-678 [Periódico revisado por pares]

New York, NY: IEEE

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9
Thin-Film Aluminum RF MEMS Switched Capacitors With Stress Tolerance and Temperature Stability
Thin-Film Aluminum RF MEMS Switched Capacitors With Stress Tolerance and Temperature Stability
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Thin-Film Aluminum RF MEMS Switched Capacitors With Stress Tolerance and Temperature Stability

Reines, I ; Pillans, B ; Rebeiz, G M

Journal of microelectromechanical systems, 2011-02, Vol.20 (1), p.193-203 [Periódico revisado por pares]

New York, NY: IEEE

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10
Multifrequency Pierce Oscillators Based on Piezoelectric AlN Contour-Mode MEMS Technology
Multifrequency Pierce Oscillators Based on Piezoelectric AlN Contour-Mode MEMS Technology
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Multifrequency Pierce Oscillators Based on Piezoelectric AlN Contour-Mode MEMS Technology

Chengjie Zuo ; Sinha, Nipun ; Van der Spiegel, Jan ; Piazza, Gianluca

Journal of microelectromechanical systems, 2010-06, Vol.19 (3), p.570-580 [Periódico revisado por pares]

New York, NY: IEEE

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