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The physics and chemistry of SiOb2s and the Si-SiOb2s interface
The physics and chemistry of SiOb2s and the Si-SiOb2s interface
Material Type:
Livro 		Adicionar ao Meu Espaço

The physics and chemistry of SiOb2s and the Si-SiOb2s interface

Symposium on the Physics and Chemistry of SiOb2s and the Si-SiOb2s Interface (1st 1988 Atlanta, Ga.) C. Robert Helms; Bruce E Deal; Electrochemical Society Meeting Atlanta, Ga.) (1988

New York Plenum Press c1988

Localização: EPBC - Esc. Politécnica-Bib Central    (546.28 Sy68p )(Acessar)

2
Estudo e otimização das propriedades estruturais, ópticas e elétricas de películas de SiOxNy depositadas por PECVD para aplicações em dispositivos MOS, microestruturas e guias de onda.
Estudo e otimização das propriedades estruturais, ópticas e elétricas de películas de SiOxNy depositadas por PECVD para aplicações em dispositivos MOS, microestruturas e guias de onda.
Material Type:
Tese de Doutorado 		Adicionar ao Meu Espaço

Estudo e otimização das propriedades estruturais, ópticas e elétricas de películas de SiOxNy depositadas por PECVD para aplicações em dispositivos MOS, microestruturas e guias de onda.

Alayo Chávez, Marco Isaías

Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP; Universidade de São Paulo; Escola Politécnica 2000-12-13

Acesso online

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Deposição e caracterização de filmes de \'SI\'\'O IND.2\' crescidos pela técnica de pecvd a baixa temperatura
Deposição e caracterização de filmes de \'SI\'\'O IND.2\' crescidos pela técnica de pecvd a baixa temperatura
Material Type:
Dissertação de Mestrado 		Adicionar ao Meu Espaço

Deposição e caracterização de filmes de \'SI\'\'O IND.2\' crescidos pela técnica de pecvd a baixa temperatura

Alayo Chávez, Marco Isaías

Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP; Universidade de São Paulo; Escola Politécnica 1996-07-26

Acesso online

4
Proceedings of the Third Symposium on Silicon Nitride and Silicon Dioxide Thin Insulating Films
Proceedings of the Third Symposium on Silicon Nitride and Silicon Dioxide Thin Insulating Films
Material Type:
Livro 		Adicionar ao Meu Espaço

Proceedings of the Third Symposium on Silicon Nitride and Silicon Dioxide Thin Insulating Films

Symposium on Silicon Nitride and Silicon Dioxide Thin Insulating Films (3rd 1994 San Francisco, Calif.) Vikram J Kapoor; William D Brown 1943-; Electrochemical Society Dielectric Science and Technology Division; Electrochemical Society Electronics Division

Pennington, NJ 10 S. Main St., Pennington 08534-2696 Electrochemical Society c1994

Localização: EPBC - Esc. Politécnica-Bib Central    (539.23 Sy68s 3. )(Acessar)

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