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Material Type:
Dissertação de Mestrado
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Otimização das propriedades estruturais de filmes de nitreto de alumínio visando sua aplicação como material piezoelétrico.

Cunha Junior, Rubens Martins

Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP; Universidade de São Paulo; Escola Politécnica 2015-06-01

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12
Material Type:
Dissertação de Mestrado
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Estudo e produção de filmes de oxinitreto de silício (SiOxNy) pela técnica de PECVD.

Souza, Denise Criado Pereira De

Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP; Universidade de São Paulo; Escola Politécnica 2003-04-23

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13
Material Type:
Dissertação de Mestrado
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Estudo e caracterização de filmes de a-Si1-xCx:H obtidos por PECVD visando sua aplicação em MEMS e dispositivos ópticos.

Morales Alvarado, Ary Adilson

Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP; Universidade de São Paulo; Escola Politécnica 2008-12-11

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14
Material Type:
Tese de Doutorado
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Síntese e caracterização de nanotubos de carbono mediante as técnicas de CVD e PECVD.

Lopez Silva, Diego Edison

Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP; Universidade de São Paulo; Escola Politécnica 2016-08-31

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15
One mask step a-Si:H/a-SiOxNy thin film transistor
Material Type:
Artigo de Congresso
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One mask step a-Si:H/a-SiOxNy thin film transistor

Katia Franklin Albertin Inés Pereyra 1947-; Symposium on Microelectronics Technology and Devices SBMICRO (19. 2004 Porto de Galinhas)

Santos, E. J. B.; Ribas, R. P.; Swart, J. eds Microelectronics technology and devices SBMicro 2004. Proceedings, v. 2004-03 Pennington : The Electrochemical Society, 2004.

Pennington The Electrochemical Society 2004

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16
Material Type:
Artigo de Congresso
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EXAFS analysis on SiOxNy films

Denise Criado Márcia Carvalho de Abreu Fantini; Inés Pereyra 1947-; Brazilian MRS Meeting (5. 2006 Florianópolis, SC)

Abstracts

Florianópolis SBPMat - Sociedade Brasileira de Pesquisa em Materiais 2006

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17
Material Type:
Livro
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Tfts an a sicx h insulator layer

Inés Pereyra 1947- Marcelo Nelson Páez Carreño 1962-; Adnei Melges de Andrade 1943-

Ponce, F A; Cardona, M, Ed Berlin : Springer, 1991 Apresentado no latin american symposium on surface physics, 6, cusco, 1990 Surface Science

Berlin Springer 1991

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18
Material Type:
Artigo de Congresso
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Improved density of states and effective charge density in SI/PECVD Si/OxNy interface

Katia Franklin Albertin Inés Pereyra 1947-; International Symposium on Microelectronics Technology and Devices SBMICRO (2008 Gramado, RS)

SBMICRO 2008: Anais Pennington: The Electrochemical Society, 2008

Pennington The Electrochemical Society 2008

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19
Material Type:
Artigo de Congresso
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Photoluminescence in silicon-rich PECVD silicon oxynitride alloys

M Ribeiro Inés Pereyra 1947-; International Symposium on Microelectronics Technology and Devices SBMICRO (2008 Gramado, RS)

SBMICRO 2008: Anais Pennington: The Electrochemical Society, 2008

Pennington The Electrochemical Society 2008

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20
Material Type:
Dissertação de Mestrado
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Síntese e caracterização de grafeno por CVD catalítico em filmes finos de Ni e Cu.

Feria Garnica, Deissy Johanna

Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP; Universidade de São Paulo; Escola Politécnica 2017-11-24

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