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Otimização das propriedades estruturais de filmes de nitreto de alumínio visando sua aplicação como material piezoelétrico.
Otimização das propriedades estruturais de filmes de nitreto de alumínio visando sua aplicação como material piezoelétrico.
Material Type:
Dissertação de Mestrado 		Adicionar ao Meu Espaço

Otimização das propriedades estruturais de filmes de nitreto de alumínio visando sua aplicação como material piezoelétrico.

Cunha Junior, Rubens Martins

Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP; Universidade de São Paulo; Escola Politécnica 2015-06-01

Acesso online. A biblioteca também possui exemplares impressos.

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Deste Autor:

  1. Pereyra, I
  2. Cunha Junior, R

Neste Assunto:

  1. Microeletrônica
  2. Nitreto De Alumínio
  3. Engenharia Elétrica
  4. Aluminum Nitride
  5. Coeficientes Piezoelétricos D33 E D31

  • Realização: ABCD-USP USP   Logos de Redes Sociais: Freepik

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