Characteristic of silicon etching process in a RIE reactor modified to include a built-in radio frequency excitation coil. (em CD-Rom)
Marcos Massi Ronaldo Domingues Mansano 1964-; Homero Santiago Maciel; Patrick Bernard Verdonck 1958-; Conference of the Brazilian Microelectronics Society (12. 1997 Caxambu)
Proceedings Itajubá : SBMICRO/EFEI, 1997
Itajubá SBMICRO/EFEI 1997
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Deposicao de carbono pirolitico, via processo de deposicao de vapor quimico assistido a plasma de metano , sobre substratos de carbono vitreo
S Watari C Otani; M Resende; C Nogueira; Marcos Massi; M Lima; H. S Maciel; Congresso Brasileiro de Aplicacoes de Vacuo Na Industria e Na Ciencia (16. 1995 Brasilia)
Resumos Brasilia : Sbv/Unicamp/Unb, 1995
Brasília Sbv/Unicamp/Unb 1995
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Marcos Massi H. S Maciel; J P Sudano; Congresso Brasileiro de Aplicacoes de Vacuo Na Industria e Na Ciencia (13. 1992 Campinas); Encontro Latino-Americano sobre Plasmas Frios (1. 1992 Campinas)
Resumos Campinas : Unicamp, 1992
Campinas Unicamp 1992
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Influência da razão entre a dureza e o módulo de elasticidade (H/E) na aderência de revestimentos de TiN e TiC depositados sobre aço AISI H13
Abel André Cândido Recco André Paulo Tschiptschin 1948-; I C Oliveira; Marcos Massi; Homero Santiago Maciel; Congresso Brasileiro de Engenharia e Ciência dos Materiais (17. 2006 Foz de Iguaçu)
Anais. CBECIMAT 2006. São Paulo, IPEN, 2006
São Paulo Instituto de Pesquisas Energéticas e Nucleares - IPEN 2006
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Levantamento de curva de paschen em plasmas formados por fontes dc utilizando-sediferentes configuracoes de eletrodos
E. A Barros Marcos Massi; Homero Santiago Maciel; J P Sudano; Congresso Brasileiro de Aplicacoes de Vacuo Na Industria e Na Ciencia (13. 1992 Campinas); Encontro Latino-Americano sobre Plasmas Frios (1. 1992 Campinas)
Resumos Campinas : Unicamp, 1992
Campinas Unicamp 1992
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Influence of methane addition on the characteristics of magnetron sputtered hydrogenated carbon films
Ronaldo Domingues Mansano 1964- Paula Maria Nogueira; Luís da Silva Zambom; Patrick Bernard Verdonck 1958-; Marcos Massi; Homero Santiago Maciel; International Conference on Microelectronics and Packaging (14. 1999 Campinas)
ICMP 99: technical digest São Paulo : SBMicro/IMAPS, 1999
São Paulo SBMicro/IMAPS 1999
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