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Varahramyan, Kody
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Material Type: Artigo
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Channeling effect of P implantation in Si(100)Ning, Yu ; Wei-Kan, Chu ; Patnaik, Bijoy ; Parikh, Nalin ; Corcoran, Sean ; Kirschbaum, Charles ; Varahramyan, KodyNuclear instruments & methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms, 1991-07, Vol.59, p.1061-1066 [Periódico revisado por pares]Elsevier B.VTexto completo disponível |
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