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3 Resultados para Acervo Físico

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Refinado por: assunto: Semicondutores

Result Number	Material Type	Record Details and Options
1	Material Type: Artigo	A study of metal contact properties on thermal annealed PECVD SiC thin films for MEMS applications Alessandro Ricardo Oliveira Inés Pereyra 1947-; Marcelo Nelson Páez Carreño 1962- Physica Status Solidi C Weinheim v. 7, n. 3/4, p. 793-796, 2010 Weinheim 2010 Item não circula. Consulte sua biblioteca.(Acessar) Detalhes Resenhas & Tags Solicitações Mais Opções
2	Material Type: Dissertação de Mestrado	Fabricação e caracterização de MEMS de carbeto de silício (a-SiC:H) obtido por PECVD Gustavo Pamplona Rehder 1979- Marcelo Nelson Paez Carreño 1962- 2005 Localização: EPBC - Esc. Politécnica-Bib Central (FD-4198 )(Acessar) Localização & Reservas Detalhes Resenhas & Tags Solicitações Mais Opções Prateleira Virtual
3	Material Type: Artigo	A study of metal contact properties on thermal annealed PECVD SiC thin films for MEMS applications Alessandro Ricardo Oliveira Inés Pereyra 1947-; Marcelo Nelson Páez Carreño 1962- Physica Status Solidi C Weinheim v. 7, n. 3/4, p. 793-796, 2010 Weinheim 2010 Item não circula. Consulte sua biblioteca.(Acessar) Detalhes Resenhas & Tags Solicitações Mais Opções