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Micro mechanical systems principles and technology
Micro mechanical systems principles and technology
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Micro mechanical systems principles and technology

T Fukuda 1948- (Toshio),; W Menz (Wolfgang)

Amsterdam Elsevier New York c1998

Localização: IFSC - Inst. Física de São Carlos    (621.381 H236 v.6 ) e outros locais(Acessar)

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The MEMS handbook
The MEMS handbook
Material Type:
Livro 		Adicionar ao Meu Espaço

The MEMS handbook

Mohamed Gad-el-Hak 1945-

Boca Raton, FL CRC/Taylor & Francis 2006

Localização: IF - Instituto de Física    (R621.3810202 G124m 2.ed v.3 ex.2 ) e outros locais(Acessar)

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Assunto 

  1. Engenharia Mecânica  (1)
  2. Microeletrônica - Manuais  (1)
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  1. Menz, W  (1)
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Deste Autor:

  1. Menz, W
  2. Fukuda, T
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Neste Assunto:

  1. Sistemas Microeletromecânicos
  2. Microelectromechanical Systems
  3. Engenharia Mecânica
  4. Microeletrônica - Manuais

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