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1	Material Type: Artigo		Optical, Electrical, and Crystal Properties of TiO2 Thin Films Grown by Atomic Layer Deposition on Silicon and Glass Substrates Kupa, I. ; Unal, Y. ; Cetin, S. S. ; Durna, L. ; Topalli, K. ; Okyay, A. K. ; Ates, H. Journal of electronic materials, 2018-08, Vol.47 (8), p.4502-4507 [Periódico revisado por pares] New York: Springer US Texto completo disponível Exibir Online Detalhes Resenhas & Tags Mais Opções Nº de Citações Citações Citado por

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