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Silicon micromechanical structures fabricated by electrochemical process
Silicon micromechanical structures fabricated by electrochemical process
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Silicon micromechanical structures fabricated by electrochemical process

Michel Oliveira da Silva Dantas Elisabete Galeazzo 1964-; Henrique Estanislau Maldonado Peres; Francisco Javier Ramírez Fernandez 1944-

IEEE Sensors Journal, New York: IEEE, 2003 v. 3, n.6, Dec. 2003

New York 2003

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2
Silicon micromechanical structures fabricated by electrochemical process
Silicon micromechanical structures fabricated by electrochemical process
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Silicon micromechanical structures fabricated by electrochemical process

Michel Oliveira da Silva Dantas Elisabete Galeazzo 1964-; Henrique Estanislau Maldonado Peres; Francisco Javier Ramírez Fernandez 1944-

IEEE Sensors Journal, New York: IEEE, 2003 v. 3, n.6, Dec. 2003

New York 2003

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3
Laser patterning a Chem-FET like device on a V2O5 xerogel film
Laser patterning a Chem-FET like device on a V2O5 xerogel film
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Laser patterning a Chem-FET like device on a V2O5 xerogel film

Manuel Fernando Gonzalez Huila André Luis Araújo Parússulo; Luis Enrique Gomez Armas; Henrique Estanislau Maldonado Peres; Antonio Carlos Seabra 1961-; Francisco Javier Ramírez Fernandez 1944-; Koiti Araki; Henrique Eisi Toma

IEEE Sensors Journal New Jersey v. 18, n. 4, p. 1358-1363, 2018

New Jersey 2018

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Deste Autor:

  1. Peres, H
  2. Ramírez Fernandez, F
  3. Galeazzo, E
  4. Dantas, M
  5. Araki, K

Neste Assunto:

  1. Microeletrônica
  2. Nanotecnologia
  3. Filmes Finos
  4. Materiais Nanoestruturados
  5. Vanádio

  • Realização: ABCD-USP USP   Logos de Redes Sociais: Freepik

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